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冷水机在真空镀膜工艺中有什么作用

添加时间:2017/12/31

        中频真空镀膜机一般要配一台冷水机作为镀膜机的冷却设备(shèbèi)。那么冷水机到底对真空镀膜工艺或者是镀膜设备(shèbèi)有什么作用呢?不配冷水机会有什么影响(influence)呢?冷水机在真空镀膜工艺中有什么作用?我们共同来了解(Find out)一下。

  真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。冷水机在制冷行业中分为风冷式冷水机组和水冷式冷水机组两种,根据压缩机又分为螺杆式冷水机组和涡旋式冷水机组,在温度控制上分为低温工业冷水机和常温冷水机,常温机组温度一般控制在0度-35度范围内。低温机组温度控制一般在0度至-100度左右。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,果如真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射,结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子沉积在基片上成膜,解决了过去自然蒸发没有办法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。
  中频设备(shèbèi)必须加冷却水,原因是它的频率(frequency)高电流大。螺杆式冷水机组价格被压缩后的气体冷媒,在冷凝器中,等压冷却冷凝,经冷凝后变化成液态冷媒,再经节流阀膨胀到低压,变成气液混合物。其中低温低压下的液态冷媒,在蒸发器中吸收被冷物质的热量,重新变成气态冷媒。电流在导体流动时有一个集肤效应,电荷(electric charge)会聚集在电导有表面积,这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。
  为什么也要用水冷却?磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形,所以它有一个水套来冷却射枪。同时还有一个重要原因磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜 - 基结合力好。
  从更深层次研究电子在非均匀电特性:波粒的辐射中的运动规律 , 探讨了磁控溅射的更一般原理以及特性:波粒的辐射的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因。螺杆式冷水机因其关键部件-压缩机采用螺杆式故名螺杆式冷水机,机组由由蒸发器出来的状态为的气体冷媒;经压缩机绝热压缩以后,变成高温高压状态。螺杆式冷水机因为采用螺杆式压缩机而得此名。它的制冷功率比涡旋式冷水机的功率大,主要应用于化工厂、油墨印刷厂、汽车制造厂或者中央空调系统或其他大型工业制冷方面。磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜 - 基结合力好、装置性能稳定(wěn dìng)。
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